ASML光刻机是一种高端的半导体制造设备，用于制造芯片。它采用先进的光学技术，可以在非常小的芯片上制造非常复杂的电路。ASML光刻机的价格非常昂贵，一台光刻机的价格可以达到数千万到数亿人民币不等。

ASML光刻机的价格取决于其型号和配置。目前，ASML公司生产的光刻机主要分为两个系列：NXT和TWINSCAN。其中，NXT系列是ASML的最新产品线，采用了最新的光刻技术和材料，能够实现更高的精度和产量。而TWINSCAN系列则是ASML的传统产品线，虽然技术不如NXT系列先进，但价格相对较低，适合一些中小型芯片制造企业使用。

根据ASML公司的报告，目前NXT系列光刻机的价格在6000万到1亿人民币之间，而TWINSCAN系列光刻机的价格在1000万到3000万人民币之间。当然，这只是一个大致的价格范围，实际的价格还会受到各种因素的影响，比如购买数量、配置要求、售后服务等等。

总的来说，ASML光刻机是一项高投入、高风险的产业，需要巨额的资金和技术支持。对于大型的芯片制造企业来说，购买ASML光刻机是必不可少的投资。而对于中小型企业来说，可能需要考虑自己的实际情况和需求，权衡利弊后再做决定。